1、前言

        在半導科技集成電路芯片和一體化電源電路加工過程中，裝修裝修相關材料、晶圓、單片機芯片的考試是必不易少的要素。近年來半導科技集成電路芯片考試科技的未來發展，字母源表SMU依照電極臺的系統組合公式早就被常見利用于裝修裝修相關材料/小集成電路芯片的電學特點手機驗證中。字母源表SMU滿足源測用途，都可以誕生電阻-電阻(I-V)特點線條，是半導科技集成電路芯片裝修裝修相關材料、集成電路芯片電功能表現預估的本質；電極臺有手動式、半全自己和全全自己以下幾種，要根據考試須要選取服務設施的產品的就可以了。在使用的時須要重視電極的材料與針尖的直勁與樣式形態，電極材料其他，其電位差又不相當；凡此種種，電極尖損壞和環保問題也會對考試導致容易造成決定。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、電極、DUT接觸舉手

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        電極臺與源表的聯接常考有兩種方式，其它種適用同水平線聯接，另其它種適用三同水平線聯接。當自動測量小交流電(nA、pA)時，應適用三同軸接轉接口和三同水平線纜。在對接源表防護上方公測圖片集成運放中，根據三同軸的防護層與內芯期間是等電位差，不有漏交流電產生，就能夠增強小交流電公測圖片高精準度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2電絕緣；3內禁掉層；4之間層；5外禁掉層；6外保護套）

圖：三同軸網纜等效電源線路圖

  上圖表達為三同定位軸數據線等效電源線路圖，輸出精度高檔HI和Guard區間內的電勢差差近乎為0，因而驅除數據線自的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S產品電流源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸連到器與一般的兩芯連到器甚微各個，可同時接駁移動訊號、接地極和屏幕掉層，屏幕掉體驗好。和多芯電纜比較之下，三同軸電纜機構非常簡單，安全可靠性好；和兩芯同軸電纜比較之下，體現了高些的屏幕掉效果和小移動訊號的視頻傳輸本事。三同軸電纜的連到模式應用了GUARD移動訊號，發揮著了屏幕掉目的，更有益于于小移動訊號的檢測的。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

運行杜邦線轉BNC母頭實施接；

- 三同軸連接 -

采用三同軸接入包塊展開接入。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

直接的的使用三同中線來聯系；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將一般的三同軸拆換為高壓電用三同中心線；直流電三同軸直管接頭的抗壓專業能力較弱，普賽斯實用的直流電三同軸直管接頭是可以抗壓3500V。

圖：左-高壓力三同軸、右-平民三同軸

HCPL 100大電流源表

大電壓交流電量測時，單根自測測試探針充許的電壓交流電比較有限，電壓交流電過大應該會產生燒針這種現象，干擾自測的結果，那么需在使用多自測測試探針并接。

圖：多探頭電容串聯關心

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面電極材料接舉手

圖：異面工業聯系提示

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。